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檢測(cè)內(nèi)容太陽(yáng)能電池片表面檢測(cè)：
• 缺陷種類：手印、大小角（尺寸不良）、深刮痕、崩邊、邊緣缺陷、孔洞和污染
• 最大可檢測(cè)156mmx156mm wafer
• 檢測(cè)精度：0.2mm
• 像素精度55 um @ 工作距離350mm
• 檢測(cè)速度：最大3600 片/小時(shí)
• 硅片暗裂
• 硅片表面SiN膜一致性檢測(cè)
• 硅片共面度3D檢測(cè)
系統(tǒng)配置：
·線陣工業(yè)相機(jī)、高分辨率工業(yè)鏡頭、LED線光源、大功率光源控制器；
·工控機(jī)：> 3.0G CPU，2048M 內(nèi)存，160G硬盤(pán)，19” LCD顯示器等；
·機(jī)機(jī)械結(jié)構(gòu)部分（包括機(jī)臺(tái)，精密傳送帶、相機(jī)等固定及微調(diào)裝置等）和電控箱（運(yùn)動(dòng)控制單元、電機(jī)、傳感器等）；
·應(yīng)用軟件包及運(yùn)行許可證及WindowsXP 運(yùn)行環(huán)境+SP2。
線陣太陽(yáng)能硅片視覺(jué)檢測(cè)光源選型
本系統(tǒng)拍攝目標(biāo)為太陽(yáng)能電池板表面，要求體現(xiàn)被測(cè)物表面手印、大小角（尺寸不良）、深刮痕、崩邊、邊緣缺陷、孔洞和污染等，為更好地表現(xiàn)細(xì)節(jié)，建議采用波長(zhǎng)較短的光源－藍(lán)色光源，并采用低角度方式照射，并由于線陣掃描的速度對(duì)光源的亮度有比較高的要求，可選配富愛(ài)其藍(lán)色高亮線陣LED光源，該光源專用于線陣項(xiàng)目，采用高亮LED及特殊光學(xué)設(shè)計(jì)，在均勻性、亮度及聚光性均有非常優(yōu)異的表現(xiàn)。另外，充分地考慮了散熱方面的要求，配合專用光源控制器，該光源可保證連續(xù)點(diǎn)亮3萬(wàn)個(gè)小時(shí)。由于太陽(yáng)能硅片另一常見(jiàn)缺陷如暗裂，尺寸變形等，為提高輪廓的對(duì)比度效果，及體現(xiàn)暗裂等缺陷，則需在另一面采用穿透力比較強(qiáng)的紅外線光源作背光用。
另外，在面陣方式進(jìn)行太陽(yáng)能電池片檢測(cè)時(shí)，由于考慮到太陽(yáng)能電池片屬于大面識(shí)表面反光物體，在光源選型時(shí)，通常選用回形背光源作正光，富愛(ài)其大功率大面積背光源具有高亮度，低發(fā)熱，高均勻性等特點(diǎn)．是面陣太陽(yáng)能硅片檢測(cè)的首選光源，歡迎來(lái)電查詢
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